真空炉温度场形成的特点
真空炉的发热元件一般呈圆形布置。真空加热相对普通炉来说,其传热方式只有辐射,没有传导和对流;非真空加热时有传导、对流和辐射三种方式,其中对流、传导根据压力的不同又与普通炉(常规压力)同。
压力小于1×105Pa(压力,普通炉的近似工作压力)时,其对流、传导作用小于普通炉;压力接近工作真空度(2Pa)时,其对流、传导作用基本不存在,工件升温缓慢,特别是低于600℃以下加热时,加热更为缓慢,工件温度相对控温热电偶的温度有一定的滞后现象。
真空炉的炉温均匀性的测量不同于普通炉,测量时需保证炉体的正常工作条件下的真空度及压升率,才能正确测定炉温。由于真空炉的传热方式与普通炉不同,实际测温过程表明控制热电偶的温度值在保温初期与有效加热区测量热电偶的温度值的差别较大。在真空工作状态中,有效加热区的温度偏差在正常保温时间内可以达到±5 ℃,满足工艺需要。
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