脱气是在真空中材料缓慢蒸发的现象，是在真空性能上主要的问题。任何的固体材料表面都有可能附着气体和液体堆积形成的分子层。由于压力的逐渐降低这些分子层会逐渐蒸发，因为这些表面的能量小于真空发出的能量。氮、挥发性溶剂和惰性气体脱气速度要快一些，油和水蒸气会继续附着在表面，几小时后才会蒸发。多孔材料、灰尘颗粒和其他自然物质会增加表面积，所以有可能引起更多的脱气出现。辐射和温度会提供足够的能量使吸收分子脱离表面。炉子的温度升高后可以释放出低温时附着在表面的分子。所以，随着炉子温度的升高，脱气现象会逐渐增多。
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