真空炉系统主要组成部分有：
1.真空系统。
真空系统由机械泵、扩散泵、主路阀、旁路阀和高真空挡板阀等组成。机械泵为粗真空装置,其动力源是1台三相交流电动机,通过交流接触器的吸合与断开实现泵的工作与停止。高真空油扩散泵为高真空装置,借助前级机械泵和扩散泵油及电炉加热的作用完成高真空度要求的抽气工作,通过交流接触器的吸合与断开控制其电加热炉的通断,进而控制扩散泵的动作与停止。
2.加热系统。
加热系统由加热电源和加热元件组成,加热电源选用磁性调压器,利用直流激磁电源实现无触点的带负载的平滑无级调压,其直流激磁电源由功率调控器控制,而功率调控器利用温控仪通过热电偶检测到的炉温当前值与设定值之差,经PID运算,输出4～20mA的直流信号,控制磁性调压器中的磁饱和电压,进而按温控仪所设置的温控曲线实现加热电流和温度的自动调控。
3.有关控制设备组成。
在所设计的分布式控制系统中,充分利用计算机强大的数据运算和处理功能,及时监控系统的工作状态,尤其是引入智能PID参数的自动整定,进一步提升真空炉系统的控制指标。
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