在使用真空炉进行工作的时候，较主要的就是为了加热，在加热过程中需要要求加热速率快，选用的加热材料一定要保证热导率好，并且在高温下不能产生变形和大量的热损失，要保证在使用过程中在一段时间内性能要稳定。
在选取加热元件时也要根据自己所需处理产品的化学性能，以免加热元件的材质影响到工件的质量。因此，真空炉要合理的选取加热元件。
常用的加热元件有石墨和不锈钢。
石墨加热元件：石墨具有耐高温、热膨胀小，抗热冲击能力强等特性，其机械强度在2500℃以下碎温度的上升而提高，1700℃左右较佳，超过所有的氧化物和金属。石墨材料熔点高，蒸气压低，真空炉的气氛中含有低浓度的碳，将与残余气体中的氧气和水蒸气反应产生净化效果，大大简化了真空系统，降低了成本。在真空炉的制作过程中，一般用于热处理时采用的加热元件是石墨，包括其炉床支座、保温屏、连接板、连接螺母、通气管等。
不锈钢加热元件：体积小，功率大，热响应快，控温精度高，综合热效率高，应用范围宽，适应性强，加热温度高，寿命长，可靠性高。机械化程度高，可以按照客户的要求弯成各种形状、轻便、拆装方便。结构简单、用料少、成本便宜，而且使用寿命长、热转换率高，同时节能省电。
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