真空炉一般由炉膛、电热设备、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为避免炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛坐落密封炉壳内。
根据炉子用途,炉膛内部装有不同类型的加热元件,如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚，有的还装有自动浇注设备和装卸料的机械手等。真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。
1）在炉子真空度不低于13.3Pa的情况下通电烘炉，在炉温缓慢升至1300℃的整个过程中，炉子真空度不应低于13.3Pa，经过充分烘烤，除气后，压升率到达技能要求时即可。
2）极限真空度测量：不低于6×1.0-4Pa。
3）工作真空度测量：不低于2.7Pa（在1000空炉时）。
4）压升率测量：在真空炉加热至1200℃时，经过充分烘烤除气后，炉温冷却至100℃以下时再测压升率，应到达0.5Pa/h。
5）回充气体调试：当冷却室真空度为1.33Pa时，关闭真空隔抢手、冷却室真空阀，并当即向冷却室炉充入氮气0.06MPa时，时间应在2.5（秒）完结，而且加热室的真空度不得低于670Pa。
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